擋控片(Dummy Wafer )

製造晶圓的精細要求極高,矽片表面的平整度將直接關係到晶片的性能品質,所以晶圓廠需要時刻對製造設備的性能進行監測測試以及維持穩定,以保證最終的成品率。
由於這些測試和維持穩定都是破壞性的,直接使用正片產品測試以及維持穩定的成本極高,於是廠商一般會使用較便宜的無圖形矽片,這些用於測試和維持穩定的無圖形(Pattern)矽片就是控片(Monitor wafer )和擋片(Dummy wafer )
製造晶圓的精細要求極高,矽片表面的平整度將直接關係到晶片的性能品質,所以晶圓廠需要時刻對製造設備的性能進行監測測試以及維持穩定,以保證最終的成品率。
由於這些測試和維持穩定都是破壞性的,直接使用正片產品測試以及維持穩定的成本極高,於是廠商一般會使用較便宜的無圖形矽片,這些用於測試和維持穩定的無圖形(Pattern)矽片就是控片(Monitor wafer )和擋片(Dummy wafer )