• 鍍膜種類，厚度 (可依客戶需求)
  大量製作或者研發量級均可

低介電low-K

    Black Diamond

    CORAL

    SiON

金屬層Metal

    Ta,Ti,Cr,Cu
    Al,AlCu,AlSi,TiCu,Ag,NiPdAu

• 氧化層Oxide
      Thermal SiO2
      PE-SiO2
      PE-TEOS
      LPCVD-TEOS